Absicherung kritischer Medien (Stickstoff 6.0, Druckluft, Reinstwasser) zur Vermeidung von Chargenabrissen im Reinraum.
- Stammdaten
- Titel
- Risikoregister Reinraum-Infrastruktur & Medienversorgung
- Organisation
- Silizium Präzisions-Elektronik AG
- unit
- Facility Management & Reinraumtechnik
- author
- Ing. Robert Brandt (Betriebsleiter Infrastruktur)
- reviewer
- Klaus Vonberg (Technischer Geschäftsführer)
- Datum
- 2026-09-10
- revision
- 2.0
- Status
- Freigegeben
- scope
- Fab 2 – Reinraumklasse ISO 5 & 6 Medienversorgung
- risk appetite
- 8 (Jeder Chargenstillstand über 15 Minuten ist ein K.O.-Kriterium)
- notes
- Geprüft nach ISO 14644 (Reinräume) und ISO 31000.
- items
- 1
- id
- i1
- code
- RSK-IND-01
- Titel
- Druckabfall im N2-Flüssiggas-Tanklager bei Serienproduktion
- category
- process
- Beschreibung
- Vereisung der Verdampferbatterie bei plötzlichem Spitzenverbrauch führt zu Druckeinbruch an den Ätzöfen.
- root cause
- Unterdimensionierung der passiven Luftverdampfer bei Minustemperaturen im Winter.
- impact
- Wafer-Oxidation in 6 laufenden Diffusionsöfen, Vollverlust der Halbleiterchargen (Schaden 420.000 €).
- brutto p
- 3
- brutto s
- 5
- strategy
- mitigate
- action
- Installation einer redundanten, elektrisch beheizten Zusatzverdampfereinheit mit automatischer Druckabfall-Schaltung (< 6,8 bar).
- action owner
- B. Wollner (Facility Engineer)
- action deadline
- 2026-10-31
- effectiveness kpi
- Konstanter N2-Druck von 7,5 ± 0,2 bar bei maximaler Fab-Vollast
- netto p
- 1
- netto s
- 3
- Status
- implemented
- last reviewed
- 2026-09-08
- 2
- id
- i2
- code
- RSK-IND-02
- Titel
- Spannungseinbruch im Mittelspannungsnetz (Brownout)
- category
- strategic
- Beschreibung
- Kurzzeitige Netzschwankungen (< 200 ms) führen zum Not-Aus aller Turbomolekularpumpen.
- root cause
- Zunahme von Netzinstabilitäten im örtlichen Industriegebiet durch fluktuierende Einspeisung.
- impact
- Vakuumverlust in Beschichtungskammern, Kontamination durch Rückströmung, 2 Tage Reinigungsaufwand.
- brutto p
- 4
- brutto s
- 4
- strategy
- mitigate
- action
- Nachrüstung einer dynamischen Schwungrad-USV-Anlage (Rotary UPS) mit 1,2 MVA zur unterbrechungsfreien Überbrückung von bis zu 15 Sekunden.
- action owner
- M. Krause (Leiter Elektrotechnik)
- action deadline
- 2026-11-30
- effectiveness kpi
- 0 Spannungseinbrüche an den Fertigungsanlagen bei 12 simulierten Netztrennungen
- netto p
- 1
- netto s
- 2
- Status
- implemented
- last reviewed
- 2026-09-09
- 1
- review
- audit completed
- Ja
- management summary
- Durch die Investition in redundante N2-Verdampfung und die Rotary-USV wurden die beiden existenzbedrohlichen Betriebsrisiken wirksam entschärft.
- approved by
- Klaus Vonberg (GF Technik)
- approval date
- 2026-09-10
- next review date
- 2026-12-10